AS600DMTG
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AS600DMTG型计算机自动控制离子镀膜机
      AS600DMTG型计算机自动控制离子镀膜机是丹普公司最新研制开发的一种物理气相沉积真空镀膜
设备，配置4个矩形非平衡磁控溅射蒸发源（2套孪生），可另外增加配置2个磁控靶，3个电弧离子蒸发
源和2个最新开发的矩形气体离子源。在镀膜过程中，AS600DMTG可以同时安装两至三种不同纯金属或
合金靶材,进行单层或多层（纳米）膜的镀制。适用于各类工具镀镀膜要求，如切削工具，冲摸具等， 特
别适用于膜层表面光洁度要求高的摸具镀膜应用；同时也可以应用在中小尺寸的工业产品的高质量装饰镀
膜上，如表壳表带、眼镜架、建筑五金（如门把手）、卫浴洁具、箱包饰品、灯饰、钢笔配件和工艺手饰等。通过对工件表面在物理、化学、机械、颜色和光泽等方面的改性，达到装饰的效果，还可以进行温度
要求较严的塑料件镀膜应用。
特点：
○ 适合于大中小各种尺寸工件的镀膜应用。
○ 镀制各种一微米以上厚度的高质量高光洁度的化学反应物理气相沉积膜层。
○ 4个磁控溅射离子源（MS1-4）和2个反应气体离子源的结合可以实现稳定的化学反应磁控溅射离子镀膜.　 　   满足工具镀对膜层质量（硬度、厚度、光洁度等）和膜层与基底结合力的严格要求，同时也可满足装饰
　 镀对膜厚、膜层色泽和光洁度等方面高要求。
○ 适合于镀制回火温度较低的模具类工具膜层。
○ 可另外2个带挡板的磁控溅射源（MS5,6），真正实现炉内掺金或金合金等装饰度应用中的最高质量要求
　 。也可以进一步增强真空室内的等离子体密度，同时加快工具镀镀膜沉积速度。
○ 3个阴极电弧离子源以增强膜层与基底的结合力。
○ 最新研制开发的反应气体离子源实现了无灯丝、免维护的使用方便性和可靠性。安置在前开门的两侧，
　 其朝向可根据需要自由转动。
○ 工件转架结构：10根回转直径为130的一次自转挂钩；可镀高度600。
○ 800毫米宽的真空室前开门，适合手工装卸工件和日常清洁维护。可装配两台磁控溅射靶，并配有单独
　 的挡板。
○ 真空室两侧各有一个磁控溅射靶侧开门，便于磁控靶的日常维护。每个侧开门上安装两台磁控溅射靶。
　 这四个磁控靶通常安装钛靶，用于TiN反应镀膜。
○ 两个反应气体离子源采用进口的逆变直流电源驱动。3个阴极电弧离子源采用国产逆变电源驱动，可以
　 实现电弧电流的自动精确稳定设定。
○ 对于镀膜工艺可进行多达30步的精确参数设定。并且能够进行周期性纳米膜层涂覆。
○ 镀膜过程的控制精度、可靠性和重复性由计算机自动控制和三种不同真空控制模式保证。从而极大地提
　 高了工件外观（光泽和色泽）的一致性和重复性，并极大地改善了膜层的内在质量。
○ 真空室温度在镀膜过程中全程自动设定和控制。
○ 分立的冷却水分配系统。可以监测每一路冷却水流量和温度，确保磁控溅射靶等关键设备的运行可靠性
　 。磁控溅射靶和阴极电弧靶的冷却水采用双温度
　 自动控制。
○ 除罗磁泵外，全部配备莱宝扩散泵系统。
○ 一周七天可设置不同的自动预热时间。具有下班
　 后自动冷却和 关机的功能。
○ 新的欧洲流行计算机自控控制柜。整机机构紧凑、
　 占地小，同 时考虑维修方便。
○ 大大降低了对操作人员的经验和技术水平的难度要
　 求。
○ 设备的安装、调试、日常维护和技术培训。
○ 该设备的设计和制造将严格满足CE方面的技术和
　 安 全要求。所 有电器控制线路都带有明确的线
　 号标记和完整的电路图纸和说 明书。
基本特性

真空室内尺寸

800x1000 mm2

有效镀膜空间

F600 x 600 mm2

拱形大尺寸前开门带左右两个观察窗

800x1000 mm2

极限真空度

3.0x10-4 Pa

抽真空时间（从大气到4.0x10-3 Pa）

< 10 min

大长方形磁控溅射靶数（宽107）

4套

电弧离化源数（RCAE1047）

3套

复合真空计(SKY90)

1套

   电离真空规 (ZJ-27)
  热偶真空规 (ZJ-54D)

10-10-5 Pa
1000-1 Pa

 

质量流量进气控制

4路

镀镀膜周期

~ 180分以上（工具镀）
~ 50分以上（装饰镀）

总电功率

80 kVA
(3相5线制，380-400v，50-60Hz)

冷却水流量、水压和进水温度

3.0吨/小时, 2.0kg/cm2, 205C
3.0吨/小时, 2.0kg/cm2, 5和30C

安装空间

5 x 6 x 3.5 m3

应用

各种切削、冲模具涂层和高质量的装饰涂层

应用

○ 利用两种不同靶材（纯金属或合金）进行各种单层和多层的装饰镀膜。可获得不同的均匀色泽或彩虹
　 效果，如TiN, TiN(O), ZrN, ZrNC, TiZrN, TiCN, CrN, IPS, TiO2, ZrO2, Al2O3等。
○实现真正的离子镀炉内金和各种金合金。
　 在玻璃和陶瓷工件上进行装饰镀膜。
○适用于各种工摸具镀镀膜。特别是对于膜层表面光洁度要求较高、温度控制较严的各种摸具类的镀膜
　 应用。
○可以进行塑料件低温镀膜。
○可以镀制纳米膜层
○可以镀制DLC(类金刚石膜) (PVCD)
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