AS700DTXB

AS700是针对镀膜涂层服务企业和刀模具生产企业开发的机型，结构简单，装载量大，具体技术规格如下：

真空室尺寸	Ø900mm * H1200mm
均匀可镀区	Ø700mm * H800mm
极限真空度	3.0*10-4Pa
压升率	0.33Pa/hr（常态）
冷却水	6ton/hr
占据空间	4.5*4.0*3.5m3
真空室	304不锈钢
抽气系统	分子泵+粗抽泵+罗茨泵
真空检测	薄膜规+复合真空计
流量控制	四路MFC
转架	可移出式下转架（4轴、5轴、6轴、8轴、9轴、12轴任选）
阴极电弧	最多4组（16套）4G-CAE（靶材规格100*20）
偏压电源	德国霍廷格偏压Huettinger Bias 26KW/珠海盛普PLS-30KW
智能源挡板	1套，实现镀膜前的靶材预清洗
加热系统	最高500度，3根热电偶监测
冷却水循环系统	配日本SMC水流开关，智能控制
电气元件	日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器