真空镀膜机常见的故障和维修办法
发布时间：2017-08-07
当真空镀膜机呈现毛病后应首要要向使用者了解毛病的现象，之后要亲自开机调查毛病，这样才干更精确、更快、更合理的排除毛病。
当真空镀膜机排除毛病应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸腾室），低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至到达真空，极限真空、保真空、康复真空，如极限真空和保真空正常，而康复真空和真空不正常则可能主泵有问题。
以下罗列真空镀膜机常见毛病及修理方法：
一、当正在镀膜时真空度俄然下降
1、蒸腾源水路胶圈损环（替换胶圈）
2、坩埚被打穿（替换坩埚）
3、高压电极密封处被击穿（替换胶圈）
4、工滚动密封处胶圈损坏（替换胶圈）
5、预阀俄然封闭可能是二位五通阀损坏（替换二位五通阀）
6、高阀俄然封闭可能是二位五通阀损坏（替换二位五通阀）
7、机械泵停机可能是继电器断开（查看继电器是否正常）
8、烘烤引进线电极密封处被击穿（替换胶圈）
9、挡板动密封处胶圈损坏（替换胶圈）
10、玻璃调查视镜呈现裂纹、迸裂（替换玻璃）
二、长时刻的镀膜机抽真空的时刻很长且达不到真空、康复真空、极限真空、保真空：
1、蒸腾室有许多粉尘（应清冼）
2、分散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏（替换胶圈）
5、因为蒸腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化（替换胶圈）
6、蒸腾室各引进水路密封处是否有胶圈损坏（替换胶圈）
7、各引进座螺钉、螺母有无松动现象（从头压紧）
8、凹凸预阀是否密封牢靠（注油）
常见的真空镀膜机修理方法就先共享到这里了。
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