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4G-CAE®是北京丹普公司的注册商标,是第四代阴极电弧技术的简称,特点如下:
①采用永磁和脉冲电磁的复合磁场驱动,弧斑移动更快,弧斑更细碎,有效抑制“微液滴”;
②通过脉冲电磁场电压和频率的变化,能够控制弧斑的运动,使得靶材烧蚀更加均匀,靶材利用率高;
③复合磁场能够将等离子体推向被镀工件,增强了工件附近的等离子密度,改变了沉积反应环境;
④可实现对涂层微观组织结构的有效调控,大幅度提高涂层的综合性能。
以下视频演示4G-CAE关闭和开启电磁线圈驱动的不同状态
前段为无电磁线圈驱动,后段为开启电磁驱动