靶/基距对CrTiAlN薄膜性能影响的研究
2023-07-28利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在 H13热作模具钢基体上沉积了 CrTiAlN 薄膜。采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和分析，...
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TC11钛合金表面PVD真空电弧离子镀TiAlN涂层防护性能的研究
2023-07-03钛合金具有密度低、比强度高、耐腐蚀、可焊等优点，但由于钛合金的耐磨性能差、摩擦系数大、易粘着、抗高温氧化性能差等缺点限制了其应用。因此，有必要在钛合金工件表面制备...
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掺钛DLC类金刚石膜的微观结构研究
2023-05-11类金刚石（Diamond-like Carbon或DLC）碳膜具有许多与金刚石相似或相近的优良性能，如极高的硬度、良好的抗摩擦磨损性能以及热导率高和化学性能稳定等。同时又具有自身独特摩擦学特性...
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DLC类金刚石/碳化钨多层膜的制备及其结构
2023-02-24采用阳极型气体离子源结合非平衡磁控溅射的方法，在单晶硅及Ti6Al4V钛合金基体上制备掺钨类金刚 石多层膜(DLC/WC)，利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及 X射线衍...
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TiC/DLC多层膜的制备及组织形态
2022-11-16多层膜是由不同材料相互交替沉积而成的组分或结构交替变化的薄膜材料，由于它具有大量的界面，通常会增加材料的韧性，阻碍裂纹扩展，与相应的单层膜相比，大多数多层膜的耐磨性能及耐...
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