问题 |
原因 |
解决方法 |
偏压电源 | ||
【ON】按钮不工作 |
1、总配电柜上空开未闭合 |
1、将其闭合 |
电压不可调 |
1、系统控制板(A1)接线端子虚接 |
1、检查并拧紧 |
电源脉冲占空比不可调 |
1、系统控制板(A1)接线端子虚接 |
1、检查并拧紧 |
工件加热器 | ||
【ON】按钮不工作 |
1、总配电柜中的空开(Auto 1)未闭合 |
1、将其闭合 |
CAE电源 | ||
“ON”开关不工作 |
1、总配电柜中的空开未闭合 |
1、将其闭合 |
电压输出(空载)< 60 V |
1、总配电柜中的空开接触不好,造成电源缺相 |
1、更换它 |
电流不可调 |
1、控制电缆连接失败 |
1、将它们装好 |
蒸发源不引弧 |
1、引弧针未挨着Ti块 |
1、调整引弧针位置 |
真空泵系统 | ||
真空泵未开启 |
1、中央控制柜上的空开(AUT1)未开 |
1、将其闭合 |
抽真空时间太长 |
1、空气太潮湿 |
1、当真空室打开时保持加热状态 |
真空阀不动 |
1、没有压缩空气 |
1、检查压缩器和管道 |
供气系统 | ||
“ON”开关未开启 |
1、复合真空计未开 2、真空度未到 3、从控制柜到真空室底架右侧的电缆没插好 4、从系统控制板(A1)板到控制面板的电缆没插好 5、控制柜中的+5V 和+15V DC电源损坏 |
1、首先开启真空计 2、等待真空度到达 3、将其插好 4、将其插好 5、检查直流电源(B2和C)和电源线端子 |
气体质量流量不可调 |
1、控制电缆连接失败 2、气路手动球阀关闭 3、气体用完 4、气体质量流量控制阀失去控制 5、控制柜中的气体质量流量控制电路板损坏 6、真空电磁阀损坏 |
1、找出并纠正 2、检查并打开 3、检查并更换气瓶 4、检查并更换 5、检查并更换 6、检查并更换 |
中央控制系统 |
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按下【SYSTEM ON】不上电 |
1、总配电柜中的空开(Auto1)未闭合 2、中央控制柜前门上方的空开(AUT1)未闭合 3、系统控制板A1和功率输出板A2间端子问题 4、功率输出板A2内的UPS未启动 5、中央控制柜的控制面板门未关好 6、功率输出板A2内的FUSE熔断器问题 |
1、闭合空开 2、闭合空开 3、检查并接好 4、启动UPS 5、关好控制面板门 6、检查并更换 |
【RECYCLE】不能启动自动镀膜程序 |
1、系统处于“MANU”状态,“MANU”显示亮 2、前门未关 3、系统仍有报警 |
1、转至“AUTO”状态 2、关好门 3、解决所有报警问题 |
上位计算机(IPC) |
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计算机不工作 |
1、系统没有上电 2、中央控制柜内UPS没有工作 3、功率输出板A2内的FUSE熔断器问题 4、电源线问题 |
1、启动设备系统 2、启动UPS 3、检查并更换 4、计算机电源必须插在专用的插座上 |
点击设备上位机监控软件不能启动 |
1、系统没有上电 2、RS-232 电缆未插好 |
1、启动设备系统 2、插好电缆 |