- 详细介绍
AS500是全自动、试验（小）型、多功能PVD硬质镀膜涂层设备，具体技术规格如下：
设备展示
| 真空室尺寸 | Ø760mm * H700mm |
| 均匀可镀区 | Ø500mm * H300mm |
| 极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
| 压升率 | 0.33Pa/hr（常态） |
| 冷却水 | 5ton/hr |
| 占据空间 | 4.0*3.0*3.5m3 |
| 真空室 | 日韩304不锈钢，双层内衬，五年质保 |
| 抽气系统 | Edwards/Leybold磁悬浮分子泵+Leybold粗抽泵 |
| 真空检测 | Inficond薄膜规+SKY90复合真空计 |
| 流量控制 | 七星华创7S-CS200数字流量计/Brooks/MKS/AE |
| 转架 | 可移出式下转架（4轴） |
| 阴极电弧 | 最多2组（4套）4G-CAE（靶材规格100*20） |
| 磁控溅射 | 最多2组（4套）柱状或者平面 |
| 气体离子源 | 阳极层流型气体离子源1套 |
| 偏压电源 | AE Pinnacle Plus 10KW/ Huettinger 18KW |
| 智能源挡板 | 1套，实现镀膜前的靶材预清洗 |
| 加热系统 | 最高500度，3根热电偶监测 |
| 冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关，智能控制 |
| 电气元件 | 日本欧姆龙PLC、端子、施耐德等空开、接触器 |
可选装如下配置：
1、HIPIMS高能脉冲磁控溅射系统
2、独立公自转转架结构
3、超高真空炉体 5.0* 10-5Pa
4、Gencoa：Speedflo system
5、标准夹具
分享给朋友：
京公网安备 11010502053715号