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丹普公司GIMS技术通过中国有色金属工业协会成果

发布时间:2014-09-18
  2014年9月2日,中国有色金属工业协会在广州主持召开了科技成果鉴定会,对广州有色金属研究院、北京丹普表面技术有限公司联合完成的“离子源复合真空镀膜成套装备、工艺及应用”项目成果进行鉴定。与会专家听取了项目汇报,审阅了鉴定资料,经过质询和讨论,形成如下鉴定意见:
 
  1.提供的鉴定资料齐全,数据详实,符合科技成果鉴定要求;
 
  2.通过研究阳极层气体离子源、非平衡磁控溅射阴极电弧等技术,设计并开发出全自动控制多功能离子镀膜系列装备。该装备具有适用面宽、沉积面积大、工艺稳定、重复性好等优点;
 
  3.研究阳极层气体离子源结合非平衡磁控溅射复合镀膜技术,制备出可精确控制层间界面、掺杂成分及微观结构的多层多相多尺度类金刚石复合膜。该薄膜具有优异的综合性能:硬度大于20GPa(最高可达35.5GPa),厚度可调(最高可达6um),膜基结合力大于50N(最高可达100N),摩擦系数小于0.2(最低可达0.05)。
 
  4.研制的成套装备及工艺技术已实现产业化,经国内外用户使用,反应良好,产生了显著的经济和社会效益。
 
  综上所述,该成果的装备及工艺技术达到国际先进水平。
 
  鉴定委员会一致同意该项目通过科技成果鉴定。
 
  建议:加快推广应用。

 
 
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