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部分PVD薄膜涂层材料的褪膜工艺配方与流程

发布时间:2018-03-22

薄膜材料

腐蚀液

配方

使用条件

备注

AL

硝酸

浓度80%以上的硝酸适量

90~~100℃

用沸水保温

NaOH溶液

NaOH+甘油+无水乙醇+去离子水
5g    0.5ml    8ml   6ml

30~~50℃

刚配置时成乳白色,存放一周后变黄,30~~50℃变透明可用

Au

盐酸

盐酸:水=1:(3~4)

常温-60℃

 

碘-碘化钾

碘-碘化钾+水
1g  4ml   4ml

常温

能快速去膜

王水

常温或稍加热:盐酸=3:1

常温

酸性太强

Cr

 

NaOH+高锰酸钾+水
4g       3g     50ml

 

生成黄色MnO时,常在草稀酸中浸一下,水冲尽,再放腐蚀液

 

硫酸铈+硝酸+去离子水
2~4g  2~4ml   20ml

常温或稍加热

硫酸铈(Ce(SO4)3)

Ni-Cr

 

硫酸铈+硝酸+去离子水
2~4g  2~4ml   20ml

常温或稍加热

 

Si

 

发烟硝酸:氢氟酸:醋酸=3:1:1

0℃

搁在冰水中或散热好的容器中

MgF2

盐酸

盐酸:水=1:(3~4)

常温-60℃

用于耐酸玻璃

 

草酸+酒石酸钾钠

草酸+酒石酸钾钠+水
1.5%  1.5%       97%
0.5%  0.5%       99%
0.75%  0.75%     98.5%
0.75%  0.5%      98.75%

在98℃烘箱中
2小时
1小时
0.5小时
1小时

不腐蚀玻璃和膜层,使膜剥离
用于K系玻璃
用于F系玻璃
用于BaKK系玻璃
用于ZK系玻璃

ZnS

盐酸

盐酸:水=1:4

常温

 

SiO2

氟化氢铵
NH4FHHF

氢氟酸+氟化铵+去离子水
30ml    60g     100ml
或氢氟酸+去离子水
30g    250ml

常温

盛于聚乙烯容器中,为防止玻璃腐蚀,另一方面涂保护胶,用0.1um的AI2O3粉末擦拭,并随时冲水检查。

AI2O3

NaOH溶液

NaOH+水
10g   10ml

30~~50℃

 

ZrO2

浓H2SO4

纯浓H2SO4

50~~60℃

ZrO2HF酸


网络收集,仅供参考
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