薄膜材料

腐蚀液

配方

使用条件

备注

AL

硝酸

浓度80%以上的硝酸适量

90~~100℃

用沸水保温

NaOH溶液

NaOH+甘油+无水乙醇+去离子水
5g    0.5ml    8ml   6ml

30~~50℃

刚配置时成乳白色，存放一周后变黄，30~~50℃变透明可用

Au

盐酸

盐酸：水=1：（3~4）

常温-60℃

碘-碘化钾

碘-碘化钾+水
1g  4ml   4ml

常温

能快速去膜

王水

常温或稍加热：盐酸=3：1

常温

酸性太强

Cr

NaOH+高锰酸钾+水
4g       3g     50ml

生成黄色MnO时，常在草稀酸中浸一下，水冲尽，再放腐蚀液

硫酸铈+硝酸+去离子水
2~4g  2~4ml   20ml

常温或稍加热

硫酸铈（Ce（SO4）3）

Ni-Cr

硫酸铈+硝酸+去离子水
2~4g  2~4ml   20ml

常温或稍加热

Si

发烟硝酸：氢氟酸：醋酸=3：1：1

0℃

搁在冰水中或散热好的容器中

MgF2

盐酸

盐酸：水=1：（3~4）

常温-60℃

用于耐酸玻璃

草酸+酒石酸钾钠

草酸+酒石酸钾钠+水
1.5%  1.5%       97%
0.5%  0.5%       99%
0.75%  0.75%     98.5%
0.75%  0.5%      98.75%

在98℃烘箱中
2小时
1小时
0．5小时
1小时

不腐蚀玻璃和膜层，使膜剥离
用于K系玻璃
用于F系玻璃
用于BaKK系玻璃
用于ZK系玻璃

ZnS

盐酸

盐酸：水=1：4

常温

SiO2

氟化氢铵
NH4FHHF

氢氟酸+氟化铵+去离子水
30ml    60g     100ml
或氢氟酸+去离子水
30g    250ml

常温

盛于聚乙烯容器中，为防止玻璃腐蚀，另一方面涂保护胶，用0.1um的AI2O3粉末擦拭，并随时冲水检查。

AI2O3

NaOH溶液

NaOH+水
10g   10ml

30~~50℃

ZrO2

浓H2SO4

纯浓H2SO4

50~~60℃

ZrO2HF酸