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真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤

发布时间:2018-04-03

前处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹
 

镀膜工艺

抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉
 

后处理工艺

 
清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;
抽真空:将真空室内的残余气体抽走
加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放
压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率
轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面
镀膜:沉积膜层
冷却:避免工件氧化变色
 

为什么要进行冷却?

镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
 
冷却如何进行?
 
1. 高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离;
2. 当操作人员按下N2 vent按钮,预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室,当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时,N2充气阀关闭。
3. 真空室内充入了大量N2,真空度很低,更加有利于热传导,所以降温速度比不充冷却N2时快很多,缩短冷却时间,提高生产效率,实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
4. 由于氦气的热传导率更高,所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快,但是成本也更高。
5. 国外设备快速冷却程序,通过冷却气体的循环冷却,能缩短冷却时间50%。
 
 

为什么要进行压升率测试?

真空环境条件是影响最终涂层质量最重要的因素。镀膜前,必须进行压升率测试,以保证真空环境条件满足镀膜标准。
 
怎样进行压升率测试?
 
在我们的自动镀膜工艺中,压升率测试是自动进行。
当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后,进入压升率测试步骤。
系统会自动关闭高阀,此时真空室与泵组隔离,真空室内压力会升高。在一定时间内(一般1分钟),如果压力不超过设定的报警值,系统会自动进行下一步程序,进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值,系统会有报警提示,此时,操作人员应按照操作流程,再次进行抽真空和加热烘烤,然后重复进行压升率测试,直至压升率满足镀膜条件。
 
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